為滿足半導(dǎo)體制造工藝的要求，集成電路無塵車間是一間潔凈室。實(shí)驗(yàn)室凈化無菌試驗(yàn)室-潔凈實(shí)驗(yàn)室-生物安全實(shí)驗(yàn)室的建設(shè)方案包括：建筑布局和裝修、空氣調(diào)節(jié)、給排水、氣體供應(yīng)、電氣設(shè)計(jì)、集中控制、安防、施工工藝、檢測、培訓(xùn)等多方面內(nèi)容。無塵車間對(duì)環(huán)境潔凈度、溫濕度、振動(dòng)、靜電放電、AMC控制等有一定的要求。與其他工業(yè)潔凈室相比，集成電路制造無塵車間具有面積大、清潔等級(jí)高、溫濕度控制精度高等特點(diǎn)。

根據(jù)潔凈室的空氣循環(huán)特性，潔凈室可分為三種類型：帶有高效供氣系統(tǒng)的循環(huán)空調(diào)，帶濕密封系統(tǒng)的循環(huán)風(fēng)扇和FFU循環(huán)系統(tǒng)。

第一種形式廣泛用于小規(guī)模和低水平要求所需的潔凈室車間設(shè)計(jì)。對(duì)于大面積和高水平的清潔車間，存在諸如高運(yùn)行成本和過多空間的缺點(diǎn)。

第二形式的設(shè)計(jì)可以滿足大面積高檔集成電路制造無塵車間的要求，但運(yùn)行成本高，潔凈室風(fēng)速、風(fēng)量調(diào)節(jié)困難，系統(tǒng)升級(jí)困難，操作靈活性非常低。

第三個(gè)FFU循環(huán)系統(tǒng)不僅節(jié)省了操作空間，安全性高，運(yùn)行成本低，操作靈活性高，而且可以隨時(shí)升級(jí)和調(diào)整，不影響生產(chǎn)。為滿足半導(dǎo)體制造的需要，半導(dǎo)體制造業(yè)中的FFU循環(huán)系統(tǒng)逐漸成為最重要的凈化設(shè)計(jì)。

FFU循環(huán)系統(tǒng)的特點(diǎn)是：整個(gè)潔凈室由靜壓層、工藝輔助層和回風(fēng)通道組成。FFU提供循環(huán)空氣的動(dòng)力。將新鮮空氣和循環(huán)空氣混合后，通過超高效過濾器將新鮮空氣和循環(huán)空氣送入工藝層和工藝輔助層，靜壓層相對(duì)于工藝層為負(fù)壓。此外，還有一個(gè)集成電路制造設(shè)備的生產(chǎn)輔助區(qū)，包括電源、氣體和化學(xué)供應(yīng)、超純水供應(yīng)等。

集成電路的制造對(duì)無塵車間的環(huán)境控制有嚴(yán)格的要求。不同的工藝過程對(duì)清潔度的要求也不同，例如，光刻工藝要求在一階段的微環(huán)境中進(jìn)行光刻，而化學(xué)機(jī)械拋光只需要1000級(jí)的環(huán)境。

此外，集成電路制造清潔車間對(duì)噪聲，振動(dòng)，照明等有特殊的規(guī)定和要求，特別是在潔凈室結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)中必須要求的振動(dòng)控制。

良好的潔凈廠房設(shè)計(jì)，不僅能節(jié)約能源，降低運(yùn)行成本，減少人力投入，而且為生產(chǎn)提供安全可靠的保障。在三種清潔系統(tǒng)中，F(xiàn)FU循環(huán)系統(tǒng)運(yùn)行成本最低，清潔度和安全性最高。因此，在集成電路凈化車間中，多采用FFU循環(huán)系統(tǒng)。潔凈度要求越高，溫濕度控制精度越高，潔凈室的投資和運(yùn)行成本越高。因此，在環(huán)境清潔度或溫濕度要求相對(duì)較低的情況下，在較高的潔凈度或溫濕度控制區(qū)域布置一些關(guān)鍵技術(shù)設(shè)備是IC制造潔凈車間的設(shè)計(jì)趨勢。